開放式光柵尺位移大小和方向的檢測
開放式光柵尺位移大小和方向的檢測
1.開放式光柵尺位移大小的檢測
由于莫爾條紋的移動與兩光柵尺之間的相對移動是相對應(yīng)的,故通過檢測 這4個電壓信號的變化情況,便可相應(yīng)地檢測出兩光柵尺之間的相對移動。 每變化一個周期,即莫爾條紋每變化一個周期,表明兩光柵尺相對移動了一個柵距的距離;若兩光柵尺之間的相對移動不到一個柵距,因 是余弦函數(shù),故根據(jù) 之值也可以計算出其相對移動的距離。
2.開放式光柵尺位移方向的檢測
若標(biāo)尺光柵固定不動,指示光柵沿正方向移動,這時,莫爾條紋相應(yīng)地沿向下的方向移動,透過觀察窗口A和B,光敏元件檢測到的光強度變化過程 和及輸出的相應(yīng)的電壓信號在這種情況下,滯后的相位為/2;反之,若標(biāo)尺光柵固定不動,指示光柵沿負(fù)方向移動,這時,莫爾條紋則相應(yīng)地沿向上的方向移動,透過觀察窗口A和B,光敏元件檢測到的光強度變化過程和 及輸出的相應(yīng)的電壓信號,在這種情況下,超前的相位為/2。因此,根據(jù)和兩信號相互間的超前和滯后關(guān)系,便可確定出兩光柵尺之間的相對移動方向。
工作原理:
直線光柵尺和旋轉(zhuǎn)編碼器均依據(jù)相對運動的原理來產(chǎn)生光信號,這些信號經(jīng)過光電器件的轉(zhuǎn)換處理后,用來檢測機械裝置的位移。大星精密采用兩種不同的材料來產(chǎn)生反饋信號:
1.刻線玻璃尺(直線光柵尺 有效測量長度3米以下使用)刻線玻璃盤片(旋轉(zhuǎn)編碼器)
2.刻線鋼帶尺(直線光柵尺 有效測量長度3米以上使用)
開放式光柵尺規(guī)格
分辨率 | 0.05μm/ 0.1μm/0.2μm/0.5μm/1.0μm/ 5.0μm | |
精度/米 | 雙層尺帶 | ±1μm /±2μm / ±3μm / ±5μm |
單層尺帶 | ±5μm / 其它可定制 | |
最大速度 | 10m/s (對于正弦信號) 1.6m/s (R:0.1μm) | |
讀頭尺寸 | 34mm x 13.2mm x 12.4mm | |
光柵周期 | 20μm / 100μm | |
尺帶材料,熱膨脹系數(shù) | 不銹鋼,10.5x10-6grd-1 | |
輸出信號 | 1Vpp / RS422 | |
參考原點 | 標(biāo)準(zhǔn): 固定距離 ,每50mm一個/其他可定制 |